當前,行(xing)業(ye)備(bei)受青睞的(de)產品(pin)是(shi)氣相沉積(ji)(CVD )硅(gui)碳(tan)材料(liao),通過硅(gui)烷、碳(tan)氫氣體依次沉積(ji)形成致密結構,首(shou)效高,循(xun)環好,膨脹低,獲得產業(ye)界(jie)廣泛的(de)認可。國內外各(ge)大企(qi)業(ye)積(ji)極投入硅(gui)基負極材料(liao)的(de)應(ying)用研發,我公司(si)研發定(ding)制的(de)硅(gui)烷沉積(ji)爐備(bei)受關注。近日,福建、寧波(bo)等地多家客戶到訪我公司(si)考察硅(gui)烷沉積(ji)爐并開展實驗,進(jin)一步推進(jin)產業(ye)化發展。
雙方在(zai)科(ke)源窯爐實(shi)驗室(shi)就以下問(wen)題展開討論:
1. 設備(bei)的(de)氣路設計及進氣方式的(de)改(gai)進;
2. 探討如何優化(hua)設備(bei)為自動進料系統;
3. 焚(fen)燒爐(lu)在(zai)沉積過程中不可(ke)或缺的重要(yao)作用。
我(wo)公司(si)商務(wu)及(ji)技(ji)術人員陪同(tong)考察(cha),并就(jiu)硅烷沉積實驗爐操作進行講(jiang)解,分享我(wo)公司(si)在實驗過程(cheng)中避免閃爆問題的(de)對(dui)策,客(ke)戶對(dui)我(wo)公司(si)產(chan)品性(xing)能(neng)、生產(chan)流程(cheng)、質量控制(zhi)體系以及(ji)設備先進性(xing)給予了(le)高度評價客(ke)戶,并對(dui)于設備也提供了(le)建設性(xing)意見(jian)。雙方(fang)會進一步(bu)加(jia)強合作,實現共贏!
【素材來源(yuan):科源(yuan)窯爐實驗(yan)室】